Система с фокусированным ионным пучком V600 и V600CE FEI Company

Регистрационное Удостоверение не оформлено

V600™ и V600CE™ — мощные системы для исследований и обработки образцов для решения широкого спектра задач:
визуализация поверхности, изготовление и извлечение ламелей для исследований в ТЭМ, получение кросс-секций, модификация микросхем, анализ дефектов;
ионная колонна Sidewinder с большой плотностью тока;
работа с большими кремниевыми пластинами а также работа с электронными микроустройствами ниже 65 нм;
разрешение — 5 нм;
CDEM детектор вторичных электронов;
5-ти осевой моторизованный столик;
система подачи процессных газов для системы газовой инжекции.
большая камера имеет 21 порт.
Модель V600CE™ имеет более продвинутое программное обеспечение, позволяющее повысить прецизионность в работе с микросхемами. V400™ и V600, V600CE могут быть дооснащены наноманипулятором Autoprobe 300, позволяющим осуществлять линейное непрерывное перемещение по любой траектории с функцией вращения, с нанометровой точностью позиционирования и повторяемостью движений, возможностью быстрой смены иголки – пробника внутри камеры без разгерметизации. Возможность электрического, механического тестирования образцов с одновременной видеозаписью эксперимента. В комплекте с системой EBIC – обеспечивает уникальную возможность комплексного исследования микроэлектронных структур и элементов.

Цена: по запросу