Доступные программные функции:
Пакет AutoFIB™ для автоматизации работы двулучевой системы DualBeam на базе макросов и скриптов
• iFast для повышения уровня автоматизации двулучевой системы DualBeam
• MAPS™ для автоматического получения больших изображений
• Мастер AutoTEM™ для автоматизированной подготовки образцов и поперечного сечения
• NanoBuilder™ — усовершенствованное приложение на основе (GDSII) решений CAD для нанопрототипирования с помощью FIB и лучевого осаждения сложных структур
• Auto Slice & View™: автоматизированная ионная резка и просмотр для сбора серий срезов для трёхмерной реконструкции
• EBS3™: автоматизированная ионная резка и получение EBSD-карт для сбора серий текстурных или ориентационных карт для трёхмерной реконструкции
• EDS3™: автоматизированная ионная резка и получение EDS-данных для сбора серий химических карт для трёхмерной реконструкции
• Программное обеспечение трёхмерной реконструкции
• Навигация Knights Technology CAD
Детекторы:
• Внутрилинзовый SE/BSE детектор Elstar (TLD-SE, TLD-BSE)
• SE-детектор Elstar в колонне (ICD)
• ВSE-детектор Elstar в колонне (MD)
• Детектор Венхарда — Торнли SE (ETD)
• ИК-камера для контроля изображения образца/колонны
• Встроенная в камеру Nav-Cam+™ *
• Высокоэффективный детектор конверсии ионов и электронов (ICE) для вторичных ионов (SI) и электронов (SE)*.
• Выдвижной низковольтный высококонтрастный твердотельный детектор обратноотражённых электронов (DBS) *
• Выдвижной STEM детектор с сегментами BF/DF/HAADF*
• Интегрированные измерения тока пучка
Особенности: — термополевой эмиттер Шоттки
— возможность переключения между режимами без нарушения вакуума
— технология UC (монохроматор)
— диапазон энергии пучка у поверхности образца 20 В – 30 кВ
— 60° объектив с двумя линзами с защитой полюсного наконечника
— нагреваемые апертуры объектива
— электростатическое сканирование
— технология линзы с постоянной мощностью ConstantPower™
— торможение пучка с подачей потенциала на предметный столик от 0 В до –4 кВ
— интегрированная функция быстрого гашения (бланкера) пучка* — превосходные характеристики при работе на высоком токе с макс. током пучка до 65 нА
— диапазон ускоряющего напряжения 500 В – 30 кВ
— двухступенчатая дифференциальная откачка
— времяпролётная коррекция (TOF)
— 15 апертур
Разрешение ионного пучка в точке пересечения:
— 4,0 нм при 30 кВ с использованием предпочтительного статистического метода
— 2,5 нм при 30 кВ с использованием
Характеристики электронной пушки:
Для UC на оптимальной рабочей дистанции
— 0.6 нм at 30 кВ STEM
— 0.7 нм at 1 кВ
— 1.0 нм at 500В (ICD)
• В точке пересечения:
— 0.6 нм at 15 кВ
— 1.2 нм at 1 кВ
Для CX на оптимальной рабочей дистанции
— 0.7 нм at 30 кВ STEM
— 0.8 нм at 15 кВ
— 1.4 нм at 1 кВ
• В точке пересечения:
— 0.8 нм at 15 кВ
— 2.5 нм at 1 кВ<br